Микроэлектроника-"ТСК-ЭлТех"

 

Один из самых крупных потребителей чистых помещений (чистых комнат) – это сфера микроэлектроники и приборостроения. Здесь существуют очень жесткие требования к уровню чистоты, особенно к чистоте воздушной среды по аэрозольным частицам и влиянию статического электричества, а также бывают специальные требования по защите от электромагнитного излучения, солнечного света, вибраций

 

В развитии микроэлектронной промышленности чистые помещения получили особо важную роль практически с момента зарождения отрасли. И чем меньше становились интегральные схемы и другие компоненты современной электроники, тем выше становились требования к чистым помещениям. Особенно высокие требования к чистым помещениям в электронике стали предъявляться в связи с развитием субмикронных, нанотехнологий.

 

В отличии от чистых помещений для фармацевтики и медицины, для микроэлектроники особое значение имеет контроль микрочастиц в среде помещений, а не микроорганизмов, для борьбы с которыми используются дополнительно дезрастворы, бактерицидные лампы и т.д. Поэтому в чистых помещениях микроэлектроники чистота достигаетстя преимущественно с помощью правильной компоновки помещений и подбора материалов и правильной работы системы воздухоподготовки.

 

Для некоторых технологических процессов в микроэлектронике защита продукта и процесса от сторонних микрочастиц имеет критическое значение. Этим обусловлено то, что для микроэлектроники зачастую требуются наиболее высокие классы чистоты, что повышает требования к качеству фильтрации воздуха, кратности воздухообменов, скорости потока воздуха и т.д., что, в свою очередь, влияет на строительные решения-возникает необходимость использования фальшполов, жесткого каркаса потолка с большой площадью фильтрующих элементов, каплевидных светильников и т.д.

Рис. 1 ЗАО "Радар ММС".

Мы предлагаем нашим заказчикам исполнение всего комплекса работ по строительству чистых помещений (строительная часть, климатика, система автматизации и мониторинга), в т.ч. разработку проекта и рабочей документации с подбором оптимальных техническо-экономических решений по используемому оборудованию и материалам.


Наш опыт в реализации проектов чистых помещений для микроэлектроники включает самые разнообразные объекты с классами чистоты ИСО 9-ИСО 3. В числе наших Заказчиков такие предприятия  как: ОАО «Радар ММС», ЗАО «Время-Ч», ФГУ Московский государственный институт электронной техники, ЗАО "Светлана-Рост" , ОАО НПК "ЭРКОН", ФГУ "ЛЭТИ", ФГУП НПП "Гамма", ЗАО Светлана-Электронприбор" и другие.

 

При комплексном осуществлении проекта чистые помещения оснащаются всеми необходимыми инженерными системами (воздухоподготовка и кондиционирование, контрольно-измерительные приборы, электрика и т.п.) и аксессуарами.

Рис. 2 ЗАО "Светлана-Рост"

Компания «ТСК-инжиниринг» предлагает  предприятиям электронной отрасли  специальную модификацию системы  конструкций чистых помещений «ТСК-Клинрум» для микроэлектронных производств-систему «ТСК-ЭЛТЕХ».


Рис. 3 ЗАО "Радар ММС"

Система ограждающих конструкций чистых помещений «ТСК-ЭЛТЕХ» состоит из следующих основных элементов:

 

- Перегородки и облицовка,

- Потолок легкий или жесткий ,

- Двери, остекление, передаточные камеры,

-Профили и фасонные элементы из стали и алюминия,

-Инсталляционные и крепежные материалы

- Напольное высококачественное плиточное атистатическое ПВХ-покрытие типа Forbo Colorex или Fatra.

-Фальшпол с вентиляционными решетками.

Рис. 4. ФГУП ЦСКБ "Прогресс"