Оборудование для локальных чистых зон

Для экономии капитальных завтрат возможна организация локальных чистых зон с более высокими классами чистоты внутри менее чистых помещений с помощью местных укрытий, ламинарных полей (типа Clean Heaven, GEA) или FFU/ФВМ (фильтровентиляционных модулей) и др. систем локальной очистки на основе местной рециркуляции, в т.ч. с фильтрами ULPA—в зависимости от проекта и требований технологии.

• Ламинары
• Ламинарные зоны
• Ламинарные шкафы и боксы
• Фильтровентиляционные модули
•